316 Vs. 316L ryðfrítt stálrör: hálfleiðaraverkefni

Ef þú ert að útvega 316L ryðfríu stáli rör fyrir hálfleiðara efni-hvort sem það er fyrir UHP gas, ofurhreint vatn (UPW), efnaflutning eða búnaðarleiðslur-eru verð og veggþykkt ein og sér ekki einu atriðin sem þarf að hafa í huga. Hálfleiðaraverkefni leggja meiri áherslu á hreinleika efnis, ójöfnur á innra yfirborði, gæði raffægingar (EP), suðuhæfni, agnastjórnun, hreinar umbúðir og rekjanleika hitanúmera.

 

Eini grundvallarmunurinn á 316 og 316L liggur í kolefnisinnihaldi þeirra (Minna en eða jafnt og 0,08% á móti Minna en eða jafnt og 0,03%), en þetta ákvarðar beint hættuna á millikorna tæringu eftir suðu. Gráða 316 getur gengist undir næmingu á aðeins 50 sekúndum við 650 gráður, en 316L þarf 8 klukkustundir; þessi þúsund-faldi munur er aðalástæðan fyrir því að 316L er valið fyrir hálfleiðara lagnakerfi.

 

316 á móti. 316L:Efnasamsetning

Frumefni	316 (þyngd%)	316L (þyngd%)
Kolefni (C)	Minna en eða jafnt og 0,08	Minna en eða jafnt og 0,03
Króm (Cr)	16.00–18.00	16.00–18.00
Nikkel (Ni)	10.00–14.00	10.00–14.00
Mólýbden (Mo)	2.00–3.00	2.00–3.00
Mangan (Mn)	Minna en eða jafnt og 2,00	Minna en eða jafnt og 2,00
Kísill (Si)	Minna en eða jafnt og 0,75	Minna en eða jafnt og 0,75
Fosfór (P)	Minna en eða jafnt og 0,045	Minna en eða jafnt og 0,045
Brennisteinn (S)	Minna en eða jafnt og 0,030	Minna en eða jafnt og 0,030
Köfnunarefni (N)	Minna en eða jafnt og 0,10	Minna en eða jafnt og 0,10

 

Athugið:Þrátt fyrir að munurinn á kolefnisinnihaldi sé lítill (0,05 prósentur) hefur hann mikil áhrif á örbyggingu eftir-suðu. Kolefni sameinast krómi og myndar Cr₂₃C₆ karbíð (þar sem króminnihaldið getur náð allt að 70 wt%), sem leiðir til krómeyðingar nálægt kornamörkum. Vegna lágs heildarkolefnisinnihalds myndar 316L takmarkað magn af karbíðum, sem leiðir til þess að krómeyðing á kornamörkum- er mun minni en 316.

 

 

316 vs. 316L (glæður, ASTM A269):Vélræn eign

Eign	TP316	TP316L
Togstyrkur (mín.)	515 MPa	485 MPa
Afrakstursstyrkur, 0,2% (mín.)	205 MPa	170 MPa
Lenging	Stærri en eða jafnt og 40%	Stærri en eða jafnt og 40%
hörku (HB max.)	217	217
PREN	25–28	25–28

 

 

316 á móti. 316L: Næmingu og tæringu á milli korna

Þegar austenítískt ryðfrítt stál verður fyrir hitastigi á bilinu 425–850 gráður, -, er það bil sem óhjákvæmilega er farið yfir af hita-áhrifasvæðinu (HAZ) á meðan á suðu hitauppstreymi stendur- hvarfast kolefni við króm og myndar krómkarbíð (M₂₃,Cr₂₃,Cr₂₃C). Þessi karbíð falla út meðfram kornamörkum, með króminnihald sem nær allt að 70 þyngd%. Þessi úrkoma eyðir króm frá svæðum sem liggja að kornamörkunum og myndar „króm-tæmt svæði. Á þessu svæði fer króminnihaldið niður fyrir 12,5% þröskuldinn sem krafist er fyrir passivering, sem leiðir til verulegrar minnkunar á tæringarþoli og leiðir til tæringar á milli korna (IGC).

Einkunn	Kolefnisinnihald	Næmingartími við 650 gráður	Hlutfallslegur munur
316	Minna en eða jafnt og 0,08%	~50 sekúndur	1×
316L	Minna en eða jafnt og 0,03%	~8 klst	~1,000×

 

316 vs. 316L:Suðumunur

Hálfleiðara lagnakerfi nota sjálfvirkt svigrúm GTAW, sem krefst fjölda hágæða, endurtekinna suðu. Suðuafköst eru afgerandi þáttur í vali á milli 316 og 316L efni.

Welding Performance	316	316L
Eftir-suðunæmingaráhætta	Hátt (~50 sekúndur við 650 gráður)	Mjög lágt (~8 klukkustundir við 650 gráður)
Eftir-suðu millikorna tæringu	Áhætta er fyrir hendi (suðu rotnun)	Mikil viðnám
HAZ næmi (DOS)	Getur farið yfir 1%	<1%
Karbíðúrkoma á suðusvæði	Mikilvægt (sýnilegt af SEM)	Snefilmagn (erfitt að greina með SEM)
Til baka-Purge Argon Protection	Nauðsynlegt, með lengri kælingu	Áskilið (staðlað verklag)
Eftir-tæringarþol suðu	Minnkar vegna krómeyðingar við kornmörk	Almennt viðhaldið
Mælt er með umsókn	Ó-soðin forrit eða kröfur um háan-hitastyrk	Ákjósanlegt val fyrir soðið lagnakerfi

 

316 vs. 316L:Yfirborðsmeðferðarmunur

Bæði 316 og 316L geta farið í gegnumbjört glæðing (BA)ografskaut (EP). Hins vegar, vegna lægra kolefnisinnihalds þess, gefur 316L almennt óvirka filmu í hærri-gæði eftir raffægingu, sem leiðir til betri tæringarþols.

Meðferðaraðferð	316	316L	Mismunur / Skýring
Björt glæðing (BA)	Í boði	Í boði	316L gefur yfirleitt jafnara yfirborð
Rafslípun (EP)	Í boði	Æskilegt	316L myndar þéttari óvirka filmu eftir EP
Ra After EP (Staðlað)	Minna en eða jafnt og 0,25 μm	Minna en eða jafnt og 0,25 μm	Báðir geta náð sama yfirborðsgrófleika
Ra After EP (Premium)	Minna en eða jafnt og 0,13 μm	Minna en eða jafnt og 0,13 μm	316L getur auðveldlega náð þessu stigi stöðugt

 

Af hverju notar hálfleiðaraiðnaðurinn nánast eingöngu 316L í stað 316?

Hálfleiðara lagnakerfi krefjast umfangsmikillar brautarsuðu, sem oft felur í sér þúsundir suðuliða. Með gráðu 316 er hita-áhrifasvæðið (HAZ) mjög viðkvæmt fyrir næmni við suðu-þar sem krómkarbíð fellur út meðfram kornamörkum, sem leiðir til krómeyðingar-sem leiðir til verulegrar minnkunar á viðnám gegn tæringu milli korna. Aftur á móti, vegna afar lágs kolefnisinnihalds, sýnir 316L minna en 1% næmingu (DOS) eftir suðu, sem þýðir að tæringarþol þess helst í meginatriðum óbreytt. Ennfremur tilgreina hálfleiðara iðnaðarstaðla eins og SEMI F20 og ASTM A270 beinlínis notkun 316L.

 

Hálfleiðara iðnaðarstaðlar fyrir 316 og 316L

Hálfleiðara iðnaður staðlar greinilega greiða316L frekar en 316fyrir há-pípukerfi:

Standard	Tilgreind einkunn	316 Gildir	316L Gildir
SEMI F20	316L	Nei	Já
ASTM A270	316L	Nei (316L krafist)	Já
ASTM A312	TP316 / TP316L	Já (almennar-leiðslur)	Já (almennar-leiðslur)
ASME BPE	316L	Nei	Já

SEMI F20tilgreinir 316L fyrir almenna-tilgang, há-hreinleika og ofur-mikil-hreinleika hálfleiðaraleiðsla, á meðan 316 er ekki innan efnissviðs þess.ASTM A270hreinlætisslöngur tilgreina einnig 316L fyrir þessi forrit.ASTM A312er aðal almenna-lögunarforskriftin sem nær yfir bæði TP316 og TP316L; þó, hálfleiðara verkefni tilgreina venjulegaTP316Lvegna lægra kolefnisinnihalds, bættrar viðnáms gegn suðunæmingu og hæfis fyrir há-hreinleikaframleiðslu.

 

 

316 vs. 316L:Tæringargagnasamanburður

Í grunn-málmástandi (án suðu) hafa 316 og 316L mjög svipaða tæringarþol, með PREN gildi venjulega á bilinu 25–28. Hins vegar, eftir suðu, getur tæringarhraði þeirra verið verulega mismunandi í ákveðnum-hálfleiðuratengdu umhverfi.

Miðlungs / ástand	316	316L
Há-hreint vatn / sjálfvirkt vatn (eftir suðu)	0,10 mm/ári	0,03 mm/ári
10% H₂SO4, 60 gráður	-	0,02 mm/ári
NaCl niðurdýfing	-	0,4260 mpy
H₂SO₄ sökkt	-	2,5141 mpy
Flúor-inniheldur miðlungs, 50 ppm F⁻, 60 gráður	-	~0,08 mm/ári
Flúor-inniheldur miðlungs, F⁻ > 2.000 ppm	-	>2 mm á ári

 

316L birgjar úr ryðfríu stáli

Gnee útvegar 316L ryðfrítt stálpípur fyrir hálfleiðaraverkefni, sem ná yfir há-ferlisleiðslur, gasdreifingu og UPW/DI vatnskerfi. Lausir valkostir eru ASTM A270, ASTM A312 og ASME BPE-samhæfar slöngur, með BA/EP yfirborði og stýrðu Ra Minna en eða jafnt og 0,25 μm eða Minna en eða jafnt og 0,13 μm. Hægt er að útvega hverja lotu með EN 10204 3.1 MTC, PMI, víddarskoðun, yfirborðsgrófleika, vatnsstöðu-/hringstraumsprófun og-hitanúmerarekjanleika, sem styður há-hreinleikaframleiðslu og kröfur um gæði verkefna.

Vöruflokkur	Yfirborðsfrágangur	Forskriftarstaðlar	Stærðarsvið (OD)
BA túpa (björt glógrækt)	Ra Minna en eða jafnt og 0,4 μm	ASTM A269 / A632	1/8" - 2"
EP rör (raf-fágað)	Ra Minna en eða jafnt og 0,25 μm	ASTM A269 / SEMI F19	1/8" - 2"
Óaðfinnanlegur rör	Kalt teiknað / glógað	ASTM A269	6 mm - 114.3 mm
Háhreinleiki gaslína	Óvirkt / ofur-hreint	ASTM A632 / SEMI F20	Sérsniðin
Spóla rör	Björt glæður	ASTM A269	1/4" - 1/2"

Ef þú ert að skipuleggja eða framkvæma viðeigandi verkefni, vinsamlegast láttu mig vita:
• Ert þú ábyrgur fyrir sérstökum gaskerfum, ofurhreinu vatnskerfum eða lofttæmi/efnaleiðslum?
• Hver er áætlaður vinnsluhnútur oblátunnar (td þroskað ferli eða háþróaður hnútur undir 3nm)?
Ég get þá veitt þér nákvæmari ráðleggingar varðandi val á stöðluðum búnaði eða uppsetningu.

Hafðu samband núna

 

Algengar spurningar

Sp.: Hversu miklu dýrari er 316L samanborið við 316?
A: Verðálag fyrir 316L yfir 316 er um það bil 15%, fyrst og fremst vegna lengri afkolunartíma sem þarf við AOD hreinsun. Með hliðsjón af því að tæringarhraði 316L eftir-suðu er þriðjungur af 316 (0,03 á móti. 0.10 mm/ári í ofurhreinu vatni) og að það útilokar hættuna á endurvinnslu og framleiðslustöðvun af völdum suðunæmingar, þá táknar þetta 15% iðgjald fyrir fjárfestingar1} hálfvirkt{1} kostnaðar{1}.

 

Sp.: Hver er munurinn á 316Ti og 316L?
A: 316Ti er títan-stöðug útgáfa af 316; Títan er bætt við til að tengja helst við kolefni og kemur þannig í veg fyrir útfellingu krómkarbíðs, sem gerir það hentugt til suðu. Hins vegar er 316Ti 15–30% dýrara en 316L [18], og viðbót við títan getur haft neikvæð áhrif á niðurstöður raffægingar (EP). Hálfleiðaraiðnaðurinn velur aðallega 316L fram yfir 316Ti vegna þess að lág-kolefnisaðferð 316L er hagkvæmari og skilar betri EP áferð.

 

Sp.: Hvað er "Tvöfalt vottað" 316/316L?
A: Sumar stálmyllur merkja lotur með kolefnisinnihaldi minna en eða jafnt og 0,03% sem "Tvöfalt vottað" 316/316L. Þetta þýðir að lotan uppfyllir bæði styrkleikakröfur 316 (þó raunverulegur styrkur sé aðeins lægri) og kröfur um kolefnisinnihald 316L. Til að forðast rugling er mælt með því að tilgreina 316L beint við innkaup.

 

Q: What are the disadvantages of 316L at high temperatures (>600 gráður)?
A: Afrakstursstyrkur 316L rýrnar hraðar við háan hita (vegna lægra kolefnisinnihalds sem leiðir til veikari fastrar-lausnarstyrkingar). Fyrir útblásturs- eða útblástursrör sem starfa yfir 600 gráður, er 316 eða 316H (mikið-kolefni 316) hentugra val. Hins vegar, þar sem hitastig vinnslugaslínu innan hálfleiðara búnaðar er venjulega undir 200 gráður, hefur þessi munur engin áhrif.

 

Sp.: Hver er munurinn á 316L VIM-VAR og venjulegu 316L?
A: Staðlað 316L er framleitt með því að nota AOD (Argon-Oxygen Decarburization) bráðnun, en VIM-VAR notar tvíþætta-ferlisaðferð-Vacuum Induction Melting (VIM) fylgt eftir með Vacuum Arc Remelting (VAR)-til að minnka súrefnismagn í minna ppm og niður í < inc 10 μm. Hálfleiðara UHP leiðslur (fyrir ALD/CVD forefni) krefjast VIM-VAR efnis, sem býður upp á 30–50% verðálag.